BL09A:照射・結晶構造ビームライン

照射・結晶構造ビームラインBL09Aでは白色光が供給されます。このビームラインではX線リソグラフィーによる微細加工や結晶材料内の欠陥構造観察を行うことができます。

 

写真1 BL09Aの実験ステーション

          BL09Aの実験ステーション                   図1 BL09Aの白色光スペクトル(計算)

 

 

                     図3 BL09Aの構成

 

 

光子エネルギー範囲

白色光(スペクトル分布は図1)
ビームサイズ(試料位置) 100 mm(H) × 7 mm(V)


研究分野 (キーワード)

 

● 微細加工(LIGA、TIEGAプロセス)
● 植物体の突然変異育種
● 結晶欠陥・転位・歪み構造のイメージング

 

 

実験ステーション

X線リソグラフィー
放射線効果実験
X線トポグラフィー

 

公益財団法人佐賀県地域産業支援センター 九州シンクロトロン光研究センター
〒841-0005 佐賀県鳥栖市弥生が丘8丁目7番地 TEL:0942-83-5017 FAX:0942-83-5196

(C)SAGA-LS.All Rights Reserved.