BL12 装置概要

XPS/NEXAFS測定装置


         XPS/NEXAFS測定装置

 

測定手法

●本装置はXPSとNEXAFS測定が可能

●XPS測定(Mgkα線、Alkα線を利用したXPS測定も可能)
●NEXAFS測定(全電子収量法、全蛍光収量法)

 

アナライザー

●偏向角:180 °

電子軌道中心直径:279.4 mm 

検出系:16チャンネルMCD 

アパーチャー:0.8 mmΦ


試料ステージ

5軸

試料加熱/冷却:1073 K 〜 163 K(LN2

(但し、加熱冷却と試料面内回転は同時に利用できません。通常は加熱・冷却用のステージを装着しています。試料面内回転ステージの利用を希望される場合は、事前にご相談ください。)

●試料電流測定 


試料導入チェンバー

試料ホルダー6個用バンク付


Arスパッタ銃/電子中和銃 付属

 

 

本装置では、板状、粉末、線状の試料に対して、同一箇所でのXPS測定および NEXAFS測定が可能です。NEXAFS測定は、試料電流測定法、直入射条件となります(偏光角依存性はNEXAFS測定装置兇鮖藩僂靴討ださい)。 なお、測定は超高真空中で行うため、揮発性試料の測定は行えません。詳細についてはご相談ください。
 

試料位置でのシンクロトロン放射光のサイズは、横約1.5mm、縦約0.6mmです。

試料ホルダー上の試料ホルダーは、外径1インチの円形であり、取付けネジ用タップが開けられています(アルバック・ファイ社製)。通常、穴あきマスクを用いて試料を挟み、固定します。最適試料サイズは、約4 mm2 × 4 mm2 〜 15 mm2 × 15 mm2程度、厚さ0.2 mm 〜 1 mm程度です。 厚みが5 mm以上ある試料は、凹み付き試料ホルダーでの対応となります。凹みのサイズは、20 mm2 × 10mm2、深さ5 mmです。その他特殊な形状の試料は別途ご相談ください。

 

平形ホルダー

二穴マスク(左)、三穴マスク(右)を用いての複数枚試料

取付け例

凹み付きホルダー

 

 

試料搬送導入機 (型式SAG-TRA)※

SAG-TRA試料を大気開放することなく分析装置へ導入できる装置です。XPS/NEXAFS測定装置、及びNEXAFS測定装置 兇任陵用が可能です。

当研究センターに設置したグローブボックスを利用することも可能です。
特徴
:試料を真空雰囲気(1 × 10-3 Pa以下)あるいはArやN2ガスなどの不活性ガス雰囲気で持ち運べます。
●装置の上部フランジ(ICF34)より容器内の真空排気が可能です。
●あらかじめICF34にバルブを取付け、容器内を真空引きし封じることで、1 × 10-3 Pa以下を20日間以上保つことができます。
●当センターのXPS/NEXAFS装置と接続する場合、専用の変換フランジを使用します。
●重さは約1 kg程度です。専用ケースに入れて持ち運びできます。
●容易に洗浄やメンテナンスができます。
●バルブや専用の変換フランジも貸し出します。
各装置*)に対応した試料搬送導入機があります。
 
  *)1 XPS/NEXAFS測定装置
     2 XPS/NEXAFS測定装置
   3 PEEM測定装置 
 試料搬送導入機
利用手続きについて

 


NEXAFS測定装置

          NEXAFS測定装置

 

 

測定手法

●NEXAFS測定(全電子収量法、全蛍光収量法)


試料ステージ

偏光角(入射角)依存性の測定が可能


試料導入チェンバー

試料ホルダー5個用バンク付

 


本装置では、板状試料に対して、偏光角/面内回転角依存性NEXAFS測定(試料電流測定法)が(同一試料で)行えます。なお、測定は超高真空中で行うため、揮発性試料の測定は行えません。詳細についてはご相談ください。

シンクロトロン放射光のサイズは、装置上流側スリットにより調整します。通常、横約1 mm 〜 2 mm 、縦約1.5 mm程度に調整します。

ホ ルダーの試料取付け面のサイズは、17 mm2 × 18 mm2です。試料は、取付けネジと板バネを用いて固定します。斜入射条件での測定を行うた め、試料サイズは、約10 mm2 × 10 mm2以上必要です。なお、厚みが1 mm以上ある試料の場合には、事前にご相談ください。

 

 

図4 試料ホルダーと板バネおよび取付けネジ

図5 板バネ等をホルダーにセットした状態

図6 試料取付け例

試料ホルダーと板バネ

および取付けネジ

板バネ等をホルダーに

セットした状態

試料取付け例


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