検索県有ビームライン概要
利用可能な県有ビームライン
| 名称 | 光源 | 光子エネルギー | 実験手段 | 利用分野の例 |
|---|---|---|---|---|
| BL07 バイオ・イメージング |
超伝導ウィグラー | 5keV 〜 35keV 白色（ピーク 8 keV） |
X線イメージング（位相・吸収・マイクロCT） | 高分子材料、生物試料 |
| X線回折（多軸回折計） | 単結晶、薄膜材料 | |||
| タンパク質X線回折 | 機能性タンパク質 | |||
| 高エネルギーXAFS | 貴金属触媒、透明電極 | |||
| 蛍光X線分析 | 農水産物、考古学試料 | |||
| 照射（加工、放射線効果） | 微細部品（LIGA）、農作物（育種） | |||
| BL09 照射・結晶構造 |
偏向電磁石 | 5keV 〜 20keV 白色（ピーク 5 keV） |
単色･白色Ｘ線トポグラフィ | 半導体ウエハ |
| 照射（加工，放射線効果） | 微細加工（LIGA）、農作物（育種） | |||
| BL10 ナノサイエンス |
偏光可変アンジュレータ | 40eV 〜 900eV1) | 軟X線XAFS | 触媒、電子材料、電池材料 |
| 角度分解X線光電子分光 | 有機半導体材料 | |||
| 光電子顕微鏡 | ナノ構造材料、磁性材料 | |||
| BL11 局所構造 |
偏向電磁石 | 2.1keV 〜 23keV2) | XAFS | 触媒、電子材料、電池材料 |
| X線小角散乱 | 高分子材料、溶液試料 | |||
| BL12 表面界面 |
偏向電磁石 | 40eV 〜 1500eV | 軟X線XAFS | 触媒、電子材料 |
| X線光電子分光 | 電池材料 | |||
| BL15 物質科学 |
偏向電磁石 | 3.5keV 〜 23keV | X線回折（粉末、薄膜） | セラミックス材料、電子材料 |
| X線反射率測定 | 機能性薄膜材料 | |||
| 単色X線トポグラフィ | 半導体ウエハ | |||
| XAFS | 触媒、電子材料、電池材料 | |||
| BL18 EUV光照射 |
偏光電磁石 | 92eV | EUV光反射、反射率計測 | レジスト（加工性評価） |
| 光学素子（反射率計測） |
1) 水平直線偏光以外の偏光モード利用を希望される場合は、事前に利用相談票等にてご相談ください。
2) 16 keV〜23 keVの単色X線利用を希望される場合は、事前に利用相談票等にてご相談ください。
ビームラインマップ
