BL09：照射・結晶構造ビームライン

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照射・結晶構造ビームラインBL09では白色光と単色光の両方を供給しています。BL09ではX線リソグラフィーによる微細加工やX線トポグラフィーによる結晶材料内の欠陥構造観察を行うことができます。

  • 図1　BL09の実験ステーション 実験室の床面積は6×3 m2

  • 図2　BL09のスペクトル（実測）

  • 図3　BL09の構成

エネルギー範囲 ■白色光
■単色光（5～20KeV）
ビームサイズ ■白色光：400 mm（H） × 14 mm（V）
■単色光：130 ｍｍ（H）× ８ ｍｍ（V）

Siチャンネルカットモノクロメーターを光路に入れることで単色化できます。必要に応じて白色/単色X線を切り替えます。

研究分野 （キーワード）

  • 微細加工（LIGA、TIEGAプロセス）
  • 植物体の突然変異育種
  • 結晶欠陥･転位・歪み構造のイメージング
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