検索BL12：表面界面ビームライン
偏向電磁石からのシンクロトロン放射光を利用できるビームラインです。40 eV 〜 1500 eVの軟Ｘ線を用いて材料評価などを行うことができます。Ｘ線光電子分光（XPS1））装置と軟Ｘ線吸収分光法によるNEXAFS2）測定装置が設置されています。
- 1）XPS : X-ray Photoelectron Spectroscopy
- 2）NEXAFS：Near Edge X-ray Absorption Fine Structure
| エネルギー範囲 | 40 eV 〜 1500 eV |
|---|---|
| 光子エネルギー分解能 （E/△E） | 2500@400 eV |
| 光子数 | 108 〜 109 photons/sec |
| ビームサイズ（試料面） | 1.5 mm（H） × 0.6 mm（V） |
研究分野（キーワード）
XPS（半導体材料の表面・界面の組成・化学結合状態、電子状態分析等）、NEXAFS（軽元素含有材料の局所構造解析等）