BL12　装置概要

XPS／NEXAFS測定装置

XPS／NEXAFS測定装置 Ⅰ

測定手法

本装置はXPSとNEXAFS測定が可能
XPS測定（Mgkα線、Alkα線を利用したXPS測定も可能）
NEXAFS測定（全電子収量法、全蛍光収量法）

アナライザー

偏向角：180 °
電子軌道中心直径：279.4 mm
検出系：16チャンネルMCD
アパーチャー：0.8 mmΦ

試料ステージ

4軸
試料加熱/冷却：873 K 〜 163 K（LN₂）
試料電流測定

試料導入チェンバー

試料ホルダー6個用バンク付

Arスパッタ銃/電子中和銃　付属

本装置では、板状、粉末、線状の試料に対して、同一箇所でのXPS測定および NEXAFS測定が可能です。NEXAFS測定は、試料電流測定法、直入射条件となります（偏光角依存性はNEXAFS測定装置Ⅱを使用してください）。なお、測定は超高真空中で行うため、揮発性試料の測定は行えません。詳細についてはご相談ください。

試料位置でのシンクロトロン放射光のサイズは、横約1.5mm、縦約0.6mmです。
試料ホルダー上の試料ホルダーは、外径１インチの円形であり、取付けネジ用タップが開けられています（アルバック・ファイ社製）。通常、穴あきマスクを用いて試料を挟み、固定します。最適試料サイズは、約4 mm × 4 mm 〜 15 mm × 15 mm程度、厚さ0.2 mm 〜 1 mm程度です。　厚みが5 mm以上ある試料は、凹み付き試料ホルダーでの対応となります。凹みのサイズは、20 mm × 10mm、深さ5 mmです。その他特殊な形状の試料は別途ご相談ください。

	平形ホルダー
	二穴マスク（左）、三穴マスク（右）を用いての複数枚試料取付け例
	凹み付きホルダー

試料搬送導入機　（型式SAG-TRA）※

試料を大気開放することなく分析装置へ導入できる装置です。XPS／NEXAFS測定装置、及びNEXAFS測定装置 Ⅱでの利用が可能です。

当研究センターに設置したグローブボックスを利用することも可能です。
特徴：試料を真空雰囲気（1 × 10^-3 Pa以下）あるいはArやN₂ガスなどの不活性ガス雰囲気で持ち運べます。

装置の上部フランジ(ICF34)より容器内の真空排気が可能です。
あらかじめICF34にバルブを取付け、容器内を真空引きし封じることで、1 × 10^-3 Pa以下を20日間以上保つことができます。
当センターのXPS/NEXAFS装置と接続する場合、専用の変換フランジを使用します。重さは約1 kg程度です。専用ケースに入れて持ち運びできます。
容易に洗浄やメンテナンスができます。
バルブや専用の変換フランジも貸し出します。
各装置*)に対応した試料搬送導入機があります。

*）
1 XPS/NEXAFS測定装置 Ⅰ

2 XPS/NEXAFS測定装置 Ⅱ

3 PEEM測定装置

試料搬送導入機

NEXAFS測定装置Ⅱ

測定手法

NEXAFS測定（全電子収量法、全蛍光収量法）

試料ステージ

偏光角（入射角）依存性の測定が可能

試料導入チェンバー

試料ホルダー5個用バンク付

本装置では、板状試料に対して、偏光角/面内回転角依存性NEXAFS測定（試料電流測定法）が（同一試料で）行えます。なお、測定は超高真空中で行うため、揮発性試料の測定は行えません。詳細についてはご相談ください。

シンクロトロン放射光のサイズは、装置上流側スリットにより調整します。通常、横約1 mm 〜 2 mm 、縦約1.5 mm程度に調整します。
ホルダーの試料取付け面のサイズは、17 mm² × 18 mm²です。試料は、取付けネジと板バネを用いて固定します。斜入射条件での測定を行うため、試料サイズは、約10 mm² × 10 mm²以上必要です。なお、厚みが1 mm以上ある試料の場合には、事前にご相談ください。

図４試料ホルダーと板バネおよび取付けネジ